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High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance (Materials Science and Process Technology) - Prima edizione

1996, ISBN: 9780815517894

William Andrew, Kindle Edition, Auflage: 1, 465 Seiten, Publiziert: 1996-12-31T00:00:00.000Z, Produktgruppe: Digital Ebook Purchas, Architecture & Microprocessors, Computer Science, Compu… Altro …

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This book describes the design, physics, and performance of high density plasma sources which have been extensively explored in low pressure plasma processing, such as plasma etching and … Altro …

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High Density Plasma Sources - Prima edizione

1996, ISBN: 9780815517894

Design, Physics and Performance, eBooks, eBook Download (EPUB,PDF), Auflage, [PU: Elsevier Science], Seiten: 465, [ED: 1], Elsevier Science, 1996

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Dettagli del libro
High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author
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9780815517894

Informazioni dettagliate del libro - High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance Oleg A. Popov Author


EAN (ISBN-13): 9780815517894
Anno di pubblicazione: 12
Editore: Elsevier Science Digital >16

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ISBN/EAN: 9780815517894

ISBN - Stili di scrittura alternativi:
978-0-8155-1789-4
Stili di scrittura alternativi e concetti di ricerca simili:
Autore del libro : oleg popov
Titolo del libro: sources the self, high performance, plasma physics, popov oleg, design design

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