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SiO2 in Si Microdevices - Itsumi, Manabu
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Itsumi, Manabu:

SiO2 in Si Microdevices - edizione con copertina flessibile

2010, ISBN: 3642077668, Lieferbar binnen 4-6 Wochen Costi di spedizione:Versandkostenfrei innerhalb der BRD

Internationaler Buchtitel. In englischer Sprache. Verlag: Springer-Verlag GmbH, Paperback, 340 Seiten, L=235mm, B=155mm, H=18mm, Gew.=515gr, [GR: 16830 - HC/Maschinenbau/Fertigungstechnik… Altro …

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Dati bibliografici del miglior libro corrispondente

Dettagli del libro
SiO2 in Si Microdevices

Electronic systems and digital computers are indispensable elements of modern multimedia technologies and the Internet society. But their explosive advance would not have been possible without the extraordinary progress in VLSI technology using high-quality SiO2. This volume addresses the thin gate oxides involved in the individual processes in fabrication, e.g. the growth, cleaning and thermal oxidation of silicon, metal interconnect formation, and photolithography. It describes new methods for observing defects in SiO2 as well as novel approaches to eliminating such defects. The book will be a valuable resource for all materials scientists and engineers seeking to further advance the quality of silicon microdevices.

Informazioni dettagliate del libro - SiO2 in Si Microdevices


EAN (ISBN-13): 9783642077661
ISBN (ISBN-10): 3642077668
Copertina flessibile
Anno di pubblicazione: 2010
Editore: Springer-Verlag GmbH
340 Pagine
Peso: 0,515 kg
Lingua: eng/Englisch

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ISBN/EAN: 9783642077661

ISBN - Stili di scrittura alternativi:
3-642-07766-8, 978-3-642-07766-1


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